| 專利號 | 96198677.8 | 申請日 | 1996.11.18 |
| 名稱 | 電容耦合的射頻類金剛石碳反應器 | ||
| 公開號 | CN1203640 | 公開日 | 1998.12.30 |
| 主分類 | D06M11/74 | 次分類 | D06M11/74;D06M10/06; |
| 紡織分類 | 用碳或石墨；用碳化物；用石墨酸或其鹽（5） | 分案原申請號 | |
| 申請(專利權)人 | 納幕爾杜邦公司; 加州 | 優先權 | 1995.12.1 US 60/007,848 |
| 地址 | 美國特拉華州威爾明頓 | ||
| 發明(設計)人 | D?J?德維林; D?M?克特斯; T?A?阿楚勒塔; R?S? | 國際申請 | PCT.US96/18438 96.11.18 |
| 國際公布 | WO97.20981 英 97.6.12 | 進入國家日期 | 1998.05.29 |
| 機構 | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 盧新華; 鐘守期 |
| 介紹 | 提供了一種用類金鋼石碳涂覆非電導性纖維的方法，包括將非電導性纖維在反應室中的一對平面金屬柵極之間穿過，向反應室中充入烴氣，在反應室中形成等離子體并保持足夠長的一段時間，由此在非電導性纖維上形成類金鋼石碳涂層，同時還提供了一種用于在非電導性纖維上沉積類金鋼石碳的反應器室，包括一個真空室、一個陰極組件，該陰極組件包括一對間隔距離小于約１厘米的電絕緣相對的平面金屬柵極，一個陽極，一個將烴氣體充入所述真空室中的裝置，以及一個在所述真空室中產生等離子體的裝置。 | ||
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